사이버옵틱스 코퍼레이션이 2020년 2월 5~7일 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아’에 부스를 열고 반도체 장비 세트업과 진단을 위한 ‘웨이퍼센스 오토 레지스턴스 센서’와 ‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어를 전시한다.

사이버옵틱스는 고정밀 3D 감지 기술 솔루션을 개발, 제조하는 세계 선도 기업이다.

‘사이버스펙트럼’ 소프트웨어와 함께 제공되는 300mm의 ARS는 반도체 전기화학 증착 애플리케이션에서 도금 셀 접촉의 저항을 실시간 측정할 수 있게 해준다.

ARS는 도금 핀에 영향을 미치는 잔류물을 감지하는 켈빈 센싱법을 사용해 50개의 주변 개별패드로 저항 측정을 신속하게 식별하고 모니터링한다.


   

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